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关于光学零件表面中不规则度、表面精度等咨询

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  • TA的每日心情

    2024-11-22 16:11
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    [LV.9]以坛为家II

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    小白

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    发表于 2023-7-6 18:49 | 显示全部楼层 |阅读模式
    最近在搭建系统,需要用到球面反射镜,下图是爱特蒙特和Thorlabs相近的两款,其中有一些东西不是很懂。
    Q1. Thorlabs中标注SURFACE IRREGULARITY (S1): ≤λ/4 AT 633nm OVER CLEAR APERTURE 和爱特蒙特上SURFACE FLATNESS 1/4,
    这两个指标描述的是否同一个意思,就是指表面的不规则度S+A在1/4波长,即小于0.5光圈?
    Q2. 紧跟Q1,爱特蒙特中标注了焦距f的公差±2%,是不是指相应的曲率半径偏差在δR=±6.096mm(f=152.4mm),即表面曲率半径公差光圈在
    -------- N = (D/2R)^2 /wavelength * δR = 54  (D=25.4*90%),  然后感觉这光圈是否偏大,还是我理解错了!!
    同样,Thorlabs中没有标注出焦距的偏差,是否意味着曲率半径的公差已经涵盖在SURFACE IRREGULARITY (S1): ≤λ/4 这一要求之中,即小于0.5光圈的级别?
    Q3. 在不考虑这两者焦距差异情况下,哪一款球面反射镜的质量更好?
    Q4. 同样,顺便问一下,国内,曲率半径300mm, 口径25.4mm和50.8mm的球面反射镜,面型精度1/4或1/8波长的加工是大概什么价格,有推荐的产生吗》。。介质膜或银膜
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  • TA的每日心情
    开心
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    发表于 2023-7-7 08:35 | 显示全部楼层
    q1:是△N1=0.5,不是平坦度N=0.5
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  • TA的每日心情
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    [LV.9]以坛为家II

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    发表于 2023-10-6 17:10 | 显示全部楼层
    Ds12345679 发表于 2023-7-7 08:35
    q1:是△N1=0.5,不是平坦度N=0.5

    前辈您好,图纸中,RMS波前误差<0.5um, RMS不规则度<3条纹,这两个分别是什么意思啊,您知道吗?
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  • TA的每日心情
    开心
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    [LV.7]常住居民III

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    发表于 2023-10-6 20:38 | 显示全部楼层
    本帖最后由 Ds12345679 于 2023-10-6 20:45 编辑

    当讨论测量表面精度时,使用了均方根(RMS),它避免了表面凸凹平均后为极小的可能,当凹陷为负值时,平方之后变成正值,然后平均开方。这个过程类似于在极平的冰面上,撒了几锹土,然后计算土的平均厚度。这种评价方式优点是PV在边缘时,不影响对整体评价。另一个不规则度(RMS),在用干涉仪测量平面时,在分析时,去掉平移量(PST)、倾斜量(TLT)、离焦量(PWR)、像散(AST),这时干涉图样里只剩下不规度ΔN2。
      另外,通常ΔN=N/10,比如N=1,ΔN=0.1;N=3,ΔN=0.3;N=5,ΔN=0.5;N=10,ΔN=1。3个条纹就是3个光圈,很少有这么大的。
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