使用SYNOPSYS设计反射式极紫外光刻物镜

asdoptics

为了提升光刻物镜的分辨率水平，需要用到更短的波长。而对于极紫外光波长13.5nm来说，已经没有光学材料在这个波段有足够好的透过率，因此极紫外的光刻物镜只能使用反射式的光学系统进行设计。SYNOPSYS的FFBUILD功能可以进行反射式自由曲面的设计。只要输入物方参数、每片反射镜的初始坐标和形状，以及像面的坐标和尺寸，就可以得到反射式自由曲面的结构。以下是一个13.5nm的反射式光刻物镜的自由曲面设计宏，共有六片反射镜，形状都为泽尼克面型。

运行这个宏，可以获取一个初始结构和自动生成的优化宏


使用自动生成的优化宏直接优化，光线初步优化

释放更多泽尼克项的变量，可以对系统进一步优化



后续都可以根据实际需求优化光学系统的其他指标，如远心度、畸变、MTF等。