关于紫外266nm到可见光的显微物镜玻璃材料选择问题

有色金属

目前楼主做了几个显微物镜的联系，用的玻璃库是成都光明和肖特的，第一个是10x，0.4NA，WD15mm，波长436~656nm。

第二个是10x，0.5NA，WD3.3mm，波长400~700nm。

目前老师要做的第三代晶圆检测需要266nm的紫外光，想问一下有没有人知道像尼康、奥林巴斯、三丰这些紫外物镜的玻璃材料是用了什么，查的一篇折反式物镜的专利里的玻璃使用了石英和氟化钙。
还有常见的玻璃库厂商还有哪些。
如果有关于低倍高NA长工作距离的物镜设计的建议，也可以指导我这枚小菜鸡一下。

Maxray

1.你提到的这几个物镜厂家的标准物镜中，紫外物镜的波长基本都是从400开始的，有些型号是355开始，也就是近紫外，你提到的266已经属于深紫外了，要知道短波对物镜性能的影响是非常大的，短波每少10nm，可用的材料可能就会少一大半。近紫外的玻璃有些厂家会有i线和类氟化钙玻璃，在近紫外还是会有比较好的透过率的，对于266这种深紫外，可用的玻璃只有石英和氟化钙。
2.对于晶圆检测，你的老师应该只是用紫外光去激发吧？那物镜收集光的波段你要搞清楚。紫外物镜的设计波段不可能很宽的，要是做到衍射极限可能只有50nm以内，因为能用的材料基本就两种，想要宽光谱消色差根本不可能
3.常见的玻璃厂商肖特、OHARA小原、成都光明，比较常用的是这三家，也是玻璃货源最充足的，其他玻璃厂家也会有，但是玻璃种类和货源都会受限，建议设计时优先考虑这三家，已经足够了
4.你做的两个练习，我看有些玻璃已经近乎同心了，或者有的太厚毛坯料根本不好买，透镜的边缘也没有留足够的加工余量。建议同步去了解下透镜的加工知识，做设计不是性能OK就万事大吉，无法加工装配一切都白搭，后面还会有公差分析和装配分析等很多的流程，有兴趣的可用慢慢了解。做练习时建议先找物镜厂家的标准品去模仿设计，不要自己随便写参数，这样你才能对各种物镜的设计极限有个了解。
5.物镜的评价和分析一般看波前和Zernike像差，是不看点裂图的，至于MTF，你波前优化好了MTF自然就上去了。还有物镜的评价标准，建议参考ISO19012，里面也有很多物镜像质评价的知识

有色金属

Maxray 发表于 2022-12-13 10:43
1.你提到的这几个物镜厂家的标准物镜中，紫外物镜的波长基本都是从400开始的，有些型号是355开始，也就是近 ...

非常感谢，我去了解一下，光设刚接触没多久。