双远心镜头

wzq

想练习一下双远心镜头：先在网上找了个简单的参数，用于光刻照明的


结果：


问题：
1：针对指标弥散斑半径怎么公差分析，因为MTF离衍射极限还有好大一截，我评价指标改成了RMS光斑半径，不是很理解怎么公差分析

2：这种用于的照明的设计，再分析应该怎么进行下去呢？或者各位大佬还有什么意见
附文件

amateur

插个题外话，双远心镜头为什么可以用于照明啊？