平板光学元件面形检测

optdes

检测方法：
1.ZYGO干涉仪
特点：测量更精确，有具体数据读出，可测面形或透过波前
缺点：费时，测量算成本，常用于出口国外、军工、或有要求提供面形检测结果
2.平面干涉仪
人眼读光圈数，评判面形或透过波前好坏，快速；
可测面形或透过波前。


平板光学元件一般只给出不规则度（小光圈ΔN）的公差指标，无大光圈N，主要原因是光圈与曲率半径的换算关系：

• N≈(d/2R)^2*ΔR
  

R为曲率半径，ΔR为曲率半径公差值，d为有效区域，λ为检测波长546.1nm；
平板元件的R等于∞，那么N=0，不提该指标。


平板光学元件一般给PV值，如单个面的PV或透过波前PV；
大部分平板元件前后面面形都有补偿，如前后表面面形都为λ，但透过波前可为λ/4；
如果有提RMS，则一般是只用面的粗糙度，一般面精度要求高的才会提；


PV有两种理解方式：
1.PV和RMS都可理解为粗糙度，与N、ΔN是三个无关的量；
2.PV即小光圈ΔN


对于球面元件，只需要给出大光圈N和小光圈ΔN即可，常用的测量工具为ZYGO干涉仪。