[已解决]zemax 怎样计算畸变尺寸（非百分比）

songshaoman · 发表于 2022-7-8 10:24

投影光刻镜头都用几nm表示畸变大小，怎么计算出来的？zemax都是百分比表示，还分各个视场，物方远心的情况还是物高。怎样换算？

最佳答案

confus

2022-7-8 13:27

Zemax设置下就是尺寸表示了啊，另外也可以根据公式直接算出来

佛跳墙 · 发表于 2022-7-8 10:28

不是实际像高和理想像高差值吗？

confus · 发表于 2022-7-8 13:27

Zemax设置下就是尺寸表示了啊，另外也可以根据公式直接算出来

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