大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计

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设计了一款口径为３０．４８ｃｍ 高精度斐索激光干涉仪参考镜，其Ｆ 数为０．８２，参考面半径
为２２４．９９ｍｍ。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为０．０９５λ，均方根值为０．０２８λ，透射波前
斜率最大值为１１μｒａｄ。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响，其 最 大 值 为
０．２９ｎｍ。利用Ｚｅｍａｘ光学设计软件对参考镜进行了仿真分析，仿真与实验结果表明，该标准镜
头可满足精度１ｎｍ 的元件面形检测需求。
关键词：光学设计；斐索干涉仪；标准镜头；面形测量