Zygo干涉仪原理思考总结

optdes · 发表于 2022-1-7 00:27

本帖最后由 optdes 于 2022-1-7 00:30 编辑

Zygo干涉仪是光学元件加工后面型检测的必备工具，思考总结了透镜、反射镜、棱镜和平板的检测方法，由于未实际操作过，实测过程中可能会有调整，常用的干涉仪实物图如下，比较有加工经验的可以交流讨论一下。不好意思多粘了一张图，暂时没法删除。

zzz在路上 · 发表于 2022-1-9 19:21

这个原理图不是zygo的，干涉仪一般泰曼格林和菲索两种架构，zygo是菲索的，不是图上泰曼格林的。

optdes · 发表于 2022-1-9 19:58

zzz在路上发表于 2022-1-9 19:21
这个原理图不是zygo的，干涉仪一般泰曼格林和菲索两种架构，zygo是菲索的，不是图上泰曼格林的。

非常感谢指正！
已查阅资料，了解到zygo干涉仪是斐索干涉仪原理，具体光路模型如下，分别是测量平板和球面透镜的结构：

泰曼格林干涉仪原理如下，我初始表述的标准透镜有误：

匍匐前进 · 发表于 2022-3-3 15:58

大哥，这个系统你复现出来了没。我现在遇到个用分光棱镜的系统，后续不知道怎么添加了，想参考借鉴下
，您看可以吗

光学小萌新· · 发表于 2022-3-4 11:42

匍匐前进发表于 2022-3-3 15:58
大哥，这个系统你复现出来了没。我现在遇到个用分光棱镜的系统，后续不知道怎么添加了，想参考借鉴下
，您 ...

使用坐标断点指令？

匍匐前进 · 发表于 2022-3-4 16:00

光学小萌新· 发表于 2022-3-4 11:42
使用坐标断点指令？

我用序列模式构建的分光棱镜，用多重结构构建需要添加反射面使得光线再次经过分光棱镜。我现在需要在这个反射面方向添加元件。但是元件添加一直出问题，好像它的下一个面位置已经确认为分光棱镜表面。

可识姜伯约否 · 发表于 2024-8-3 11:22

谢谢楼主，终于看到菲索干涉仪的了

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