光刻物镜设计思路

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请教一下各位，曝光投影物镜的结构为什么视场和倍率NA一般是多少？结构中常用的玻璃材料是哪种？结构为什么会那么复杂？

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找些论文看一下吧，有很多硕博论文是设计光刻物镜的。

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倍率一般是4倍，因为是扫描曝光受到工件台扫描速率的限制以及硅片尺寸的限制。NA是根据分辨率要求，和曝光波长而定。结构复杂是因为NA大，视场相对大，分辨率要达到衍射极限。