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应用光学第59卷，第十二期,第3692-3698页(2020) https://doi.org/10.1364/AO.387792 用于表面处理和损伤研究的软x射线激光光束线
摘要我们开发了一种软x射线激光(SXRL)光束线，配备了专门用于表面处理和损伤形成等烧蚀研究的强度监视器。SXRL光束的波长为13.9nm，脉宽为7ps，脉冲能量约为200 nJ。用Mo/Si多层包覆球面镜将SXRL光束聚焦到样品表面。为了获得正确的辐照能量/剂量，在光束线上安装了一个由Mo/Si多层分束器和x射线电荷耦合器件相机组成的强度监测器。Mo/Si多层分束器对45°入射角的反射率有很大的偏振依赖性。然而，通过适当地评估反射率和光束透过率之间的关系，可以从光强监测器获得的能量中得到照射到样品表面的能量。这种SXRL光束线不仅适用于烧蚀现象，也适用于软x射线光学和电阻的性能评价。
软X线(soft X-ray)：波长在0.74～0.046nm(0.74～0.46埃米)、光子能量为17～26keV的低能量X线。由软x线机产生，产生该波段X线的管电压为25～40kVp。由于软X线的穿透能力小，临床上适用于软组织摄影。 原文： https://www.osapublishing.org/ao/abstract.cfm?uri=ao-59-12-3619
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发表于 2020-5-5 09:37