Applied Optics 第59卷，第十二期 高数值孔径微透镜的光学特性及加工工艺优化

前途无量

应用光学第59卷，第十二期,第3601-3607页(2020)•https://doi.org/10.1364/AO.387346

        高数值孔径微透镜的光学特性及加工工艺优化

摘要：

高数值孔径非球面微透镜的精确表征目前是一种非标准的方法，仍是一个有待解决的难题。在此，我们提出并讨论了一种基于高分辨率干涉显微镜在透射过程中进行的干涉测量和点扩展函数测量的表征方法。特别地，我们证明了在固定测试条件下进行的单相测量可以以一种简单的方式进行，从而产生任意非球面度的普莱诺-凸微透镜的波前像差和表面形貌。这种方法同时允许不同光学功能的微透镜的制造工艺优化和光学质量测试，而无需对测试装置进行重大修改。为了举例说明，我们介绍了一个具有数值孔径的微透镜的情况～0.4.

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前途无量

redplum 发表于 2020-5-4 12:07
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https://www.osapublishing.org/ao/abstract.cfm?uri=ao-59-12-3601

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