基于复合带宽积分平均衍射效率的倾斜误差研究

东少

基于复合带宽积分平均衍射效率的倾斜误差研究

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来源：光学学报，发表时间：2020-01-06
作者：杨亮亮*   刘成林   陆法林   童巧英   赵勇兵   郭仁甲
单位：盐城师范学院物理与电子工程学院
摘要：在装调过程中引入的倾斜误差会影响衍射光学元件的衍射效率。入射角度的增大也会影响衍射光学元件的衍射效率。基于多层衍射光学元件的位相延迟表达式，提出了斜入射时衍射效率和带宽积分平均衍射效率与倾斜误差的理论关系模型。分析了斜入射时倾斜误差对衍射效率和带宽积分平均衍射效率的影响。建立了工作在一定入射角度范围内的复合带宽积分平均衍射效率与倾斜误差的关系。当工作在8~12um波段的多层衍射光学元件的入射角度范围为0~20°时，若要实现98%的复合带宽积分平均衍射效率，倾斜误差角度应控制在范围0.25°内。进一步分析了存在偏心误差和相对微结构高度误差等其它误差因素时，要达到一定的复合带宽积分平均衍射效率对应的倾斜误差大小。该方法和结论可以用于指导混合光学系统中多层衍射光学元件的设计与装调。

关键词：衍射光学；衍射效率；倾斜误差；斜入射 ；多层衍射

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