synopsys中基于方差的像差

optics1210

波前方差是像质的有用度量，VARIANCE命令可以计算方差、标准偏差、X和Y中的图像点。后两个量给出了参考球面中心的位置，在该位置方差被最小化，如果该分析是多波长的，从所请求的色差或主波长色差的主要光线点测量。这是对衍射图样的峰值位置的一个有用的近似，只要OPD误差小于一个波长。对于畸变非常重要的透镜，比如显微光刻物镜，我们希望控制这个位置，而不是仅仅控制主光线截距的位置——这是校正畸变的一个更常见的目标。本节描述的像差允许我们这样做。格式是:

M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS

M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS

M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS

M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS

M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS

M TAR WTA { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS

它们在AANT文件中。XIP和YIP的值给出了从参考点到像点的距离，接近衍射图样的峰值。参考点是在请求的色差中，或如果请求多波长“M”则在主波长色差中，在请求的视场角处的主光线点。WVAR返回波前差，WSTD返回方差的平方根，即波前的标准偏差。

IPX和IPY是相关的，但是不同。在这里，程序找到像点，然后也找到轴上物体的对应点。返回值是X和Y的差值，单位是透镜单位。因此，如果轴上像是完美的，计算返回在请求的视场处像点的位置。如果轴上像点有非零坐标(例如，由于轴向彗差)，从该点而不是从顶点测量返回值。因此，为了控制畸变，目标是所需的图像比例与IPX或IPY返回的值之差。

用VARIANCE进行计算，追迹大约NRYS条光线并找到所需的量。