【联合光科】ARGOS 2光学元件表面缺陷检测系统介绍

联合光科

ARGOS 2光学元件表面缺陷检测系统

自动评估高品质光学元件表面质量

ARGOS是一种设计用于自动分析透明和反射元件表面缺陷的系统。ARGOS使用一台线扫描相机结合一个旋转台和高功率LED光源捕捉样品的高分辨率图像，光学元件的表面缺陷被确认和分辨，按照ISO 0110-7和ISO 14997标准，以及美军标应用校准图像和处理算法。

特点：

ARGOS 2可以快速检验整个表面

提高产出和品质

完全符合ISO 10110-7文件标准

分析典型缺陷类型

麻点                       长划痕                     密集缺陷                         崩边

校准

Reference defects on glass created by focused ion beammiting
玻璃上由聚焦离子束导致的缺陷参考

精度指标

精度	1μm	30次重新插入同一样品测量标准偏差
能见度	1μm	最小可视缺陷达2.5um（取决于光学分辨率）
重复性	>99% for 5/1     0.16	指定同等级
	>96% for 5/1     0.04
最小可辩别的等级	5/1     0.004	麻点
	5/C1     0.01	镀膜麻点
	5/L1     0.004	划痕
	5/E 0.04	边缘裂缝  崩边

  概述

测试和验证

镜头

平面镜

镜片

缺陷类型

麻点

划痕

边缘裂缝

镀膜麻点

用户友好界面

通用夹具

桌面式触摸屏

可选项

气流去除灰尘

针对大产量的电动聚焦轴设计

自动聚焦（圆形元件）

2轴同时扫描

扩展井深

自动上下料

指标

表面材料	玻璃、金属、半导体
最小缺陷等级	5/1     0.004
最大样品直径	45mm
最大径向深度	1mm
测试时间	2s/ <20s / < 60s
图像尺寸	256 mio.pixel
图像分辨率	0.0028mm / pixel

测试报告示例

总体信息

测试机构	DIOPTIC GmbH Bergstr.92A 69469 Weinheim
检验员	Dr.Arno F. Warken
日期	13.04.2016
标准	ISO 10110-7

设备信息

样品编号	20160413_0028
测试设备	ARGOS, S/N 003
软件版本	ARGOS 1.1
参数设置	R0035,12.02.2016
有效区域不确定度	< 5% for grade 0.025

样品

图像编号	3279
描述	Batch 001,Sample 025
生产批号	11.04 .2016
器件类型	trans missive

直径	15.5mm
方向标识	None
测试方法	IM
表面参数	5/ 2     0.160;L1      0.010

概览

最大瑕疵

No.	Position 位置	Type* 类型	Grade 级别
1	R=5.9mm,Φ=128.6’	S	0.010mm
2	R=6.8mm,Φ=18.9’	D	0.063mm
*D=Dig, S=Scratch. C=Coating Imperfection  E=Edge Chip

Summary 总结

	Specification 参数	Detected 探测数据	Result 结果
Imperfection concentration     缺陷集中度	ISO 10110-7	NO	Passed
Largest dig grade     最大麻点	0.160 mm	0.063 mm	Passed
Effective area     有效区域	0.051mm2	0.007 mm2	Passed
Largest scratch width 最大划痕宽度	0.010mm	0.010 mm	Passed
Effective scratch width 有效划痕宽度	0.010mm	0.010 mm	Passed

（测评样品为15.5mm平面光学镜片，系统进行自校准后安装样品测试时间）

ARGOS2 光学元件缺陷检测视频

https://www.gu-optics.com/Technology/video.html

QBH端面缺陷检测系统的使用视频。

https://www.gu-optics.com/Technology/video.html

Dioptic GmbH公司成立于1999年，现有主要产品/服务有：光学设计/衍射光学元件/红外光学元件/表面缺陷测试系统ARGOS（光学元件缺陷检测、QBH端面缺陷检测）等。联合光科技代理Dioptic GmbH的各类产品。关于任何Dioptic产品的需求，都可以联系联合光科技哦~

ARGOS2产品页面：

表面缺陷检测

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